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品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合 |
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瑞士VAT高压摆式隔离阀16.2系列
型号系列:VAT 16.2
阀门类型:高压摆式隔离阀(Swing Gate Valve)
设计特点:
90°摆臂式启闭机构,比传统闸阀节省50%空间
双密封系统(主密封+应急密封)
适用于高压差(≤20 bar)与高真空(10⁻⁹ mbar)交叉工况
参数 | 技术指标 |
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压力范围 | 超高真空(10⁻⁹ mbar)~ 20 bar(绝压) |
温度范围 | -30°C ~ +150°C(标准)/ +250°C(高温版) |
漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封) |
阀体材质 | 316L不锈钢(可选哈氏合金C-276) |
密封材质 | 全金属密封(金/铜)或氟橡胶(FKM) |
驱动方式 | 气动(标准)/ 电动(可选步进电机) |
响应时间 | <1秒(DN100口径) |
法兰标准 | ISO-KF/CF/DN,ANSI 150#~300# |
① 摆臂设计
采用VAT的"Soft-Touch"技术,减少颗粒产生(<5 particles/cm³ @0.3μm)
比传统闸阀磨损降低70%(寿命>500,000次循环)
② 双冗余密封系统
主密封:金属密封(标准工况)
应急密封:可快速激活的弹性体密封(突发压力波动时自动触发)
③ 智能诊断接口
集成阀位传感器(精度±0.1°)
支持预测性维护(通过振动/温度监测密封状态)
行业 | 典型应用 | 定制要求 |
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半导体 | 刻蚀机腔室隔离 | Al₂O₃镀层,耐Cl₂腐蚀 |
能源 | 聚变装置真空隔离 | 无磁化设计(钛合金组件) |
化工 | 高压反应釜进料控制 | 哈氏合金阀体,耐酸碱 |
科研 | 同步辐射光束线 | 超高真空兼容(烘烤至250°C) |
型号示例 | DN口径 | 压力等级 | 密封类型 | 适用场景 |
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VAT 16.2-100-M | DN100 | 10 bar | 金属密封 | 半导体设备 |
VAT 16.2-150-H | DN150 | 20 bar | 哈氏合金密封 | 化工高压反应 |
VAT 16.2-80-XHV | DN80 | 真空专用 | 双金属密封 | EUV光刻机 |
安装规范:
需使用扭矩扳手(法兰螺栓扭矩见下表)
使用前进行3次压力循环测试(0~20 bar)
法兰标准 | 螺栓扭矩(Nm) | 紧固顺序 |
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DN100 ISO-KF | 12~15 | 十字交叉法 |
4" ANSI 150# | 60~75 | 星型渐进式 |
维护计划:
每月:检查摆臂枢轴润滑状态
每6个月:氦质谱检漏测试
每5年:更换主密封组件(原厂维修包)
交期参考:
标准型号:8~12周
定制型号:14~18周
通过SEMI F47(电压暂降免疫)
符合ASME BPE-2019生物工艺标准
CE/PED 2014/68/EU认证
ISO 15848-1低泄漏认证
商品编号16248-PH41商品编号16250-TA21商品编号16254-PA48商品编号16246-JA21
商品编号16246-PA48商品编号16251-JA41商品编号16248-PA21商品编号16255-JA28
商品编号16252-PA28商品编号16255-JA21商品编号16252-JA41商品编号16252-PA21
商品编号16246-TA48商品编号16250-PA21商品编号16246-PA41商品编号16250-JA41
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商品编号16250-PA28商品编号16248-PA41商品编号16254-JA41商品编号16251-JA28
商品编号16248-PA48商品编号16250-TA41商品编号16248-JA21商品编号16246-JA48
商品编号16246-PA28商品编号16251-JA21商品编号16252-JA28商品编号16252-PA48
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商品编号16250-PA48商品编号16250-TA48商品编号16248-JA28商品编号16246-JA41
商品编号16250-PA41商品编号16246-PA21商品编号16246-TA21商品编号16250-JA21
商品编号16250-JA28
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