瑞士VAT-77.1 - 超高真空快速关闭挡板 77.1 超高真空快速关闭挡板在压力上升时具有快速的关闭反应，可保护真空水平。该系列可在 10 毫秒内（具体取决于挡板直径）以极快的速度关闭真空线。关闭挡板会几乎立即将空气涌入减少至 mbar l/s 级别。这为启动全金属阀门留了时间，全金属阀门用于残留泄漏的密封。防止损坏是分秒必争的，因此，77.1 系列为系统保护设定了标准。

瑞士VA超高真空快速关闭阀75.0/75.2 对快速关闭阀的主要要求是快速反应以及在空气涌入的情况下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空环境的损失（尤其是加速器或储存环等大体量的损失），可能造成严重的污染问题并且需投入精力来恢复所需真空水平。

瑞士VAT高真空控制摆阀65.5系列 高过程压力、低流量腐蚀性蚀刻应用的理想之选 65.5 高真空控制摆阀可提供高度可控的流导谱。由于其平稳的打开和关闭运动，粒子数和粒子生成水平极低，这也是其主要特点。 该阀门专为严苛工艺设计，例如半导体生产过程中的腐蚀性刻蚀和清洁应用，在这些应用中，当初始可控流导较低时，需要高度可控的流导谱。

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列 可优化半导体与显示器系统中的下游压力控制和隔离 65.3 控压摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的流导范围内提供高水平的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机，可提供改进功能。

瑞士VAT大型高压摆式隔离阀16.8系列 16.8大型高真空摆式隔离阀在恶劣的工艺条件下也能提供可靠的隔离性能。它是大流量应用中隔离要求的理想选择，如大型涂层或显示器生产系统。因此，它提供了DN400和500mm的规格。16.8阀门提供可选的3位气动或标准气动，均为双作用。

瑞士VAT高压摆式隔离阀16.2系列 产品概述 型号系列：VAT 16.2 阀门类型：高压摆式隔离阀（Swing Gate Valve） 设计特点： 90°摆臂式启闭机构，比传统闸阀节省50%空间 双密封系统（主密封+应急密封） 适用于高压差（≤20 bar）与高真空（10⁻⁹ mbar）交叉工况